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機器人研拋一體機

機器人研拋一體機

基于工業機器人的小工具加工機床，利用小工具在元件表面高速旋動，實現對平面、球面及非球面元件面形快速收斂。
利用自主研發的基于力控傳感器的柔性拋光頭，確保拋光過程中材料去除函數穩定可控，從而實現超精密元件表面的高精度加工，配合全鏈路工藝、軟件，實現光學元件從研磨到精密拋光的全鏈路加工。

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基于工業機器人的小工具加工機床，利用小工具在元件表面高速旋動，實現對平面、球面及非球面元件面形快速收斂。
利用自主研發的基于力控傳感器的柔性拋光頭，確保拋光過程中材料去除函數穩定可控，從而實現超精密元件表面的高精度加工，配合全鏈路工藝、軟件，實現光學元件從研磨到精密拋光的全鏈路加工。

優勢
1、基于工業機器人專用控制系統，實現高精度表面成型。
2、基于力控傳感器的柔性拋光頭設計，精確控制加工過程去除函數。
3、根據加工要求，開放式全鏈路加工工藝軟件開發。
4、根據客戶要求定制開發


主要技術指標

項目
參數指標
可加工元件材料
熔石英、K9、微晶等光學元件；合金鋁等金屬元件
可加工元件最大尺寸

≥φ1000mm

拋光工具轉速
50-800RPM
力傳感器量程
Fx/Fy：100N; Fz：200N
力傳感器精度非線性和滯后優于0.5%，串擾優于2%
力傳感器分辨率Fx/Fy：0.09N; Fz：0.33N
工具軸運動范圍
1：±180°
2：-90°至+150°
3：-180°至+75°
4：-400°至+400°
5：-125°至+120°

6：-400°至+400°

工具軸最大運動速度
1-6軸均為175°/s
重復定位精度
0.06mm
面積需求
3.5m×3.5m×3m
技術要求

22+2℃

加工曲率半徑:+50~±omm

重復定位精度:≤0.05mm，重復路徑精度:≤0.15mm

負載能力不小于200kg

拋光頭指標:舉報精密力控功能，可實現1N-300N范圍。精確的力位補償，壓力設置精度≤1N

濕度要求
40%-80% RH




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