激光干涉儀采用相移技術準確表征被測表面的三維形貌，測量精度高達 0.06um 甚至更高，廣泛用于平面光學元件高精度檢測。
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優勢
1. 準確測量 100mm 口徑以下的光學元件的透射波前、反射波前。
2. 測量精度和測量重復性能媲美美國 Zygo 和 4D 干涉儀。
3. 根據客戶要求定制開發。
主要技術指標
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