實現大口徑樣品全口徑自動測量,通過電腦處理,采用各種顏色顯示樣品通光面應力分布狀態;自動以文件形式存儲測量結果、存儲時間、日期、方法、樣品名稱、厚度、測量值、測量單位和結果圖像。
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實現大口徑樣品全口徑自動測量,通過電腦處理,采用各種顏色顯示樣品通光面應力分布狀態;自動以文件形式存儲測量結果、存儲時間、日期、方法、樣品名稱、厚度、測量值、測量單位和結果圖像。
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優勢
1、可應用于大尺寸元件應力的測量;
2、現已實現 1000mmx1000mm 尺寸元件全口徑范圍內應力的測量 ;
3、具有高的測量效率的同時具有高的重復性測量精度
4、可以根據客戶的要求定制